Сборник включает статьи по квантовым методам обработки информации, микро- и наноэлектронике. Авторы первой части сборника концентрируют внимание на проблемах реализации полномасштабного твердотельного квантового компьютера на ядерных спинах. Вторая часть сборника посвящена описанию разработок важнейших технологических процессов и оборудования для микро- и наноэлектроники. В третьей части рассмотрены вопросы мониторинга технологических процессов. Методы моделирования технологических процессов описываются в четвертой части сборника. В пятой и шестой частях представлены работы по диагностике и теоретическому описанию наноструктур и нанотранзисторов. Для специалистов в области микроэлектроники.

«Почти 60 лет назад был изобретен транзистор и почти 50 лет прошло с тех пор, как были созданы первые интегральные схемы. В 2000 г. кремниевая микроэлектроника преодолела 100-нанометровый барьер. Этот переход считается революционным, приведшим к рождению целого ряда новых направлений науки и техники. Появились наноэлектроника, наноэлектромеханика, нанооптика и нанофотоника, спинтроника и магнитоэлектроника, молекулярная наноэлектроника, полимерная электроника, биосенсорика и др.

До минимального размера порядка 10 нм транзистор сохраняет свои переключательные и усилительные свойства, что полностью определяет путь развития кремниевой наноэлектроники вплоть до 2020 г. В диапазоне размеров 5-0.5 нм наступает эра мезоскопических структур и приборов, а при размерах 0.5 нм и менее — эра квантовых чипов.

Уменьшение длины канала транзистора до 10 нм приводит к качественному изменению его свойств. Все большую роль играют квантовые эффекты. Транзистор становится баллистическим, т.е. электрон движется в канале, как волна де Бройля. В транзисторах в тонком «кремнии на изоляторе» проявляется размерное квантование, что изменяет величину порогового напряжения, прямое туннелирование «сток-исток» и т.п. Создание квантовых моделей транзисторов является актуальной задачей. Требуется разработка новых технологий нанесения подзатворного диэлектрика, создания затворов с металлической проводимостью, высоконадёжных контактных систем, сверхмелкого легирования областей стока и истока.

Мезоскопические структуры — электронные приборы, размеры активной области которых сопоставимы с такими параметрами электрона, как длина волны де Бройля на поверхности Ферми, а также длина свободного пробега, длина когерентности, длина сбоя фазы и радиус экранирования. В таких приборах заметную роль начинают играть квантовые явления…»

ПРЕДИСЛОВИЕ

Proceedings include articles on quantum methods for information processing. First part concentrates on problems of realization of solid state full-scale quantum computer on nuclear spins. Part two describes design of echnological processes and equipment for micro- and nanoelectronics. Third part considers in situ monitoring of technological processes. Part four presents mathematical methods for modeling of technological processes. Parts five and six contain articles on diagnostics and theoretical models of nanostructures and nanotransistors. For specialists in the field of microelectronics.

Книги на ту же тему

1. Статистическая структура квантовой механики и скрытые параметры, Холево А. С., 1985
2. Статистическая структура квантовой теории, Холево А. С., 2003
3. Физико-статистические основы квантовой информатики, Богданов Ю. И., 2011
4. Вопросы причинности в квантовой механике, Терлецкий Я. П., Гусев А. А., ред., 1955
5. Нанотехнологии в микроэлектронике, Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред., 2019
6. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. — 2-е изд., доп., Мартинес-Дуарт Д. М., Мартин-Палма Р. Д., Агулло-Руеда Ф., 2009