|
|
Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Труды ИОФАН; Т. 62 |
|
| год издания — 2006, кол-во страниц — 147, ISBN — 5-02-034130-4, тираж — 400, язык — русский, тип обложки — мягк., масса книги — 200 гр., издательство — Наука |
| серия — Труды ИОФАН |
| цена: 299.00 руб |  | | | |
|
Рецензенты:
д-р ф.-м. н. М. Н. Филиппов
д-р ф.-м. н. В. П. Гавриленко
Утверждено к печати Институтом общей физики им. А. М. Прохорова РАН
Формат 70х100 1/16. Печать офсетная |
| ключевые слова — микрометр, нанометр, микроэлектрон, нанотехнолог, атомно-силов, микроскоп, нанометролог, интерферометр, наноперемещен |
Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 нм — 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию.
Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоёмких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.
The proceedings are dedicated to the results of basic and applied scientific research aimed at solving the problem of measurements of linear sizes in micrometer and nanometer ranges (from 1 nm to 100 μm), which are important for microelectronics and nanotechnology. The concept is developed for the transfer of the length unit from the State Primary Standard of the meter to users without any substantial accuracy loss. Systems based on scanning electron and scanning atomic force microscopes, which realize this concept, are described.
The proceedings are intended for researchers and specialists working in science-intensive branches of industry, as well as for post-graduate students specialized in the fields of microelectronics and nanotechnology.
|
ОГЛАВЛЕНИЕ| Новиков Ю. А., Раков A. В., Тодуа П. А. | | Нанотехнология и нанометрология | 3 | | | | Дарзнек С. А., Желкобаев Ж., Календин В. В., Новиков Ю. А. | | Лазерный интерферометрический измеритель наноперемещений | 14 | | | | Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Раков А. В., Тодуа П. А. | Линейная мера микрометрового и нанометрового диапазонов для растровой
электронной и атомно-силовой микроскопии | 36 | | | | Волк Ч. П., Горнее Е. С, Новиков Ю. А., Плотников Ю. И., Раков А. В., Тодуа П. А. | Проблемы измерения геометрических характеристик электронного зонда
растрового электронного микроскопа | 77 | | | | Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Раков А. В., Тодуа П. А. | | Нанометрология линейных измерений в атомно-силовой микроскопии | 121 |
|
Книги на ту же тему- Нанотехнологии в микроэлектронике, Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред., 2019
- Новые углеродные наноматериалы: получение, исследование, перспективы применения, Сладкова Т. А., сост., 2013
- Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. — 2-е изд., доп., Мартинес-Дуарт Д. М., Мартин-Палма Р. Д., Агулло-Руеда Ф., 2009
- Основы технологий и применение наноматериалов, Колмаков А. Г., Баринов С. М., Алымов М. И., 2012
- Полимерные нанокомпозиты: многообразие структурных форм и приложений, Микитаев А. К., Козлов Г. В., Заиков Г. Е., 2009
- Оптические приборы для измерения линейных и угловых величин в машиностроении (Справочная книга), Коломийцов Ю. В., Духопел И. И., Инюшин А. И., Артемьев И. В., 1964
- Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
|
|
|
