В сборнике описаны методы исследования вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела в растровом электронном микроскопе, работающем в режимах сбора вторичных медленных и обратно рассеянных электронов. Рассмотрены результаты таких исследований. Обнаружен новый механизм генерации вторичных электронов — эффект эмиссии электронов из поверхностных состояний под действием налетающего первичного электрона. Приведены примеры применения этого эффекта для измерения линейных размеров микроструктур в растровом электронном микроскопе.

Сборник предназначен для научных работников, технологов, аспирантов и студентов, специализирующихся в областях исследования поверхности твёрдого тела, вторичной электронной эмиссии и растровой электронной микроскопии.

The book outlines the methods for researching the secondary electron emission from a relief surface of solids with the use of scanning electron microscope. The electron microscope operates in the collection modes of the secondary slow and backscattered electrons. New mechanism of the secondary electron generation — the effect of electron emission from surface states under the action of flying primary electron — is found out. The application of this effect for measurement of microstructure linear sizes is shown.

The proceeding is intended for scientists, technologists, and postgraduate students specializing in the fields of investigation of the solid surface, secondary electron emission, and scanning electron microscopy.

Книги на ту же тему

1. Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
2. Химическая физика поверхности твёрдого тела, Моррисон С., 1980
3. Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
4. Плазменные источники электронов, Крейндель Ю. Е., 1977
5. Электронные умножители, Чечик И. О., Файнштейн С. М., Лифшиц Т. М., 1954
6. Электровакуумные приборы, Тягунов Г. А., 1949