Физика

Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами

год издания — 1991, кол-во страниц — 206, ISBN — 5-7966-0433-3, тираж — 1000, язык — русский, тип обложки — твёрд. 7БЦ матов., масса книги — 310 гр., издательство — Зинатне. Рига

КНИГА СНЯТА С ПРОДАЖИ

Сохранность книги — очень хорошая

Р е ц е н з е н т ы:
проф., д-р т.н. И. Г. Матис
к-т т.н. В. С. Фастрицкий

Формат 60x90 1/16. Бумага типографская №1. Печать высокая

Монография посвящена проблеме комплексного развития теории электромагнитных методов неразрушающего контроля тонкоплёночных проводящих структур на основе обобщения их свойств в электромагнитных полях от ИК- до ВЧ-диапазонов и с учётом их микроструктурных особенностей. Неоднородные плёнки структуры представляются в виде импедансных поверхностей (модель импедансной поверхности), что позволяет упростить граничные условия при решении задач электродинамики, избавиться от необходимости расчёта полей внутри плёнок и получить простые аналитические выражения для вносимых параметров радиоволновых и вихретоковых измерительных преобразователей через параметры плёнок, на основе использования которых разрабатываются методы неразрушающего контроля тонкоплёночных структур с отстройкой от мешающих факторов.

Приводятся результаты опробования разработанных методов контроля. Описываются принципы работы и блок-схемы созданных на их основе измерительных и контрольных приборов. Рассматриваются проблемы их выпуска, внедрения и аттестации.

Монография предназначена для специалистов, работающих в области неразрушающих электромагнитных методов контроля, и для инженерно-технического персонала, связанного с производством тонкоплёночных структур.

Табл. 13, ил. 105, библиогр. 264 назв.

ПРЕДИСЛОВИЕ	5

1. ОСОБЕННОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЁНОК. ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ НЕРАЗРУШАЮЩИХ МЕТОДОВ ИХ КОНТРОЛЯ	11

1.1. Электрическая проводимость тонких плёнок	12
1.2. Исследование электрофизических параметров плёнок контактными методами	16
1.3. Электрическая проводимость плёнок на высокой частоте	23
1.4. Пути развития неразрушающих электромагнитных методов контроля параметров тонких плёнок	26

2. ТЕОРИЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО КОНТРОЛЯ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ СТРУКТУР	28

2.1. Особенности взаимодействия электромагнитных полей с тонкими проводящими плёнками	29
2.1.1. Импеданс квадрата поверхности как обобщающая
характеристика проводящей плёнки в электромагнитном поле	29
2.1.2. Зависимость импеданса квадрата поверхности островковых
плёнок от частоты поля и их микроструктуры	31
2.1.3. Граничные условия для модели импедансной поверхности	34
2.2. Расчёт взаимодействия однородных электромагнитных полей с тонкоплёночными проводящими структурами	35
2.2.1. Поле бесконечного соленоида	36
2.2.2. Плоская волна	41
2.2.3. Поле открытого резонатора	44
2.3. Расчёт параметров вихретоковых преобразователей при взаимодействии их полей с тонкими проводящими покрытиями и плёнками	48
2.3.1. Приближение плоской волны	49
2.3 2. Проходной преобразователь	54
2.3.3. Накладной преобразователь	58

3. ВИХРЕТОКОВЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР	63

3.1. Параметрические накладные преобразователи	65
3.1.1. Отстройка от влияния зазора на основе использования двух
параметрических преобразователей различного диаметра	65
3.1.2. Контроль параметров структур по входному импедансу с
отстройкой от влияния зазора	71
3.2. Дифференциальные накладные преобразователи	80
3.2.1. Расчёт параметров дифференциального накладного
преобразователя	81
3.2.2. Отстройка от влияния зазора	88
3.3. Контроль тонкоплёночных проводящих дисков параметрическим преобразователем	95

4. ИК-, РАДИОВОЛНОВЫЕ И ЁМКОСТНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ РЕЗИСТИВНЫХ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР	105

4.1. Контроль плёнок в ИК-диапазоне	106
4.2. Волноводные и рупорные методы контроля	109
4.3. Контроль на основе использования СВЧ-открытого резонаторного преобразователя	115
4.4. Ёмкостные ВЧ-методы измерения параметров плёнок	120

5. ПРИБОРЫ ВИХРЕТОКОВОГО НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ТОНКИХ ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ И ПЛЁНОК	127

5.1. Использование импедансной методики контроля при разработке приборов серии ВИМП	127
5.2. Приборы ВИМП-1 и ВИМП-4 с параметрическими накладными преобразователями	133
5.3. Приборы ВИМП-2 и ВИМП-3 для контроля металлизации стальных лент и полупроводниковых дисков	137
5.4. Приборы ВИМП-5, ВИМП-11, ВИМП-12, ВИМП-13 и ВИМП-13М для отработки технологии нанесения тонких проводящих покрытий	141
5.5. Приборы ВИМП-31 и ВИМП-31М для измерения толщины контактных покрытий на кремниевых дисках	146
5.6. Цифровые приборы ВИМП-51, ВИМП-51М, ВИМП-52 и ВИМП-53 для измерения эквивалентной толщины и проводимости квадрата поверхности тонких металлических плёнок	148

6. РАДИОВОЛНОВЫЕ И ЁМКОСТНЫЕ СРЕДСТВА КОНТРОЛЯ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР	155

6.1. Прибор СИМП-1 для контроля сопротивления квадрата поверхности резистивных плёнок на ситалловых подложках	156
6.2. Ёмкостное автоматизированное устройство для контроля параметров тонких резистивных плёнок	159
6.3. Прибор СИМП-2 с рупорным проходным преобразователем для контроля параметров тонкоплёночных структур в процессе производства	162
6.4. Прибор СИМП-3 с резонаторными преобразователями для непрерывного контроля высокоомных проводящих и диэлектрических плёнок	166

7. ПРОБЛЕМЫ ВЫПУСКА, ВНЕДРЕНИЯ И МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ АТТЕСТАЦИИ ПРИБОРОВ	172

7.1.1. Приборы серии СИМП	173
7.1. Структурные схемы разработки, освоения выпуска и внедрения приборов	173
7.1.2. Приборы серии ВИМП	176
7.2. Автоматизация измерений приборами серии ВИМП	181
7.2.1. Автонастройка на оптимальный режим в процессе измерений	181
7.2.2. Автоподстройка нуля в промежутках между измерениями	185
7.3. Основы метрологической аттестации приборов	187
Список литературы	191

Книги на ту же тему

Магнитоэлектроника СВЧ-, КВЧ-диапазонов в плёнках ферритов, Игнатьев А. А., Ляшенко А. В., 2005
Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоёв, Афанасьев А. М., Александров П. А., Имамов Р. М., 1989
Физические методы неразрушающего контроля сварных соединений: учебное пособие, Алешин Н. П., 2006
Виброакустика в приложениях к реакторной установке ВВЭР-1200, Аркадов Г. В., Павелко В. И., Слепов М. Т., 2018
Акустический контроль оборудования при изготовлении и эксплуатации, Углов А. Л., Ерофеев В. И., Смирнов А. Н., 2009
Экспериментальная механика: В 2-х книгах (комплект из 2 книг), Кобаяси А., ред., 1990
Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
Физико-химические основы производства полимерных плёнок: Учебное пособие для вузов, Гуль В. Е., Дьяконова В. П., 1978
Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987

http://knigoprovod.ru

/Наука и Техника/Физика

ОГЛАВЛЕНИЕ

Книги на ту же тему