Излагаются основы теории дифракции рентгеновских лучей в кристаллах высокой степени совершенства и подробно анализируются особенности дифракционного рассеяния в нестандартных схемах дифракции, позволяющие создать новые неразрушающие методы диагностики слоёв и границ раздела, ещё не нашедшие отражения в научных монографиях.

Возможности методов иллюстрируются конкретными примерами исследования технологических процессов микроэлектроники.

Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области физики твёрдого тела и полупроводникового материаловедения, а также аспирантов и студентов соответствующих специальностей.

Табл. 3. Ил. 87. Библиогр. 226 назв.

Книги на ту же тему

1. Физические методы неразрушающего контроля сварных соединений: учебное пособие, Алешин Н. П., 2006
2. Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами, Гаврилин В. В., 1991
3. Беседы о рентгеновских лучах, Власов П. В., 1977
4. Дифракционная оптика периодических сред сложной структуры, Беляков В. А., 1988
5. Асимптотическая теория дифракции электромагнитных волн на конечных структурах, Нефёдов Е. И., Фиалковский А. Т., 1972
6. Некоторые задачи дифракции электромагнитных волн, Потехин А. И., 1948