Сборник, посвящённый 20-летию Физико-технологического института РАН, включает в себя статьи по актуальным проблемам микро- и наноэлектроники, микро- и наноэлектромеханики и твердотельных квантовых компьютеров. Рассмотрены перспективы реализации полномасштабных квантовых компьютеров на ионных ловушках в твердотельных структурах, проанализирован перенос электрона в одномерных многоямных структурах. Особое внимание уделено важнейшим вопросам физики и моделирования нанотранзисторов (кремниевые в ультратонком кремнии на изоляторе, туннельные, с графеновым каналом и др.). Исследованы межподзонные оптические переходы в структурах с разрывом запрещённой зоны. Представлены статьи по моделированию электромиграционного разрушения тонкоплёночных проводников, прочности границы соединённых материалов в зависимости от их микроструктуры и содержания точечных дефектов, моделированию каналов нейтрализации источников пучков быстрых нейтралов, даётся обзор плазменных процессов в технологии МЭМС.

Для специалистов в области микро- и наноэлектроники.

Книги на ту же тему

1. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование, 2005
2. Физико-статистические основы квантовой информатики, Богданов Ю. И., 2011
3. Введение в квантовую теорию информации, Холево А. С., 2002
4. ВЧ МЭМС и их применение, Варадан В., Виной К., Джозе К., 2004
5. Нанотехнологии в микроэлектронике, Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред., 2019
6. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. — 2-е изд., доп., Мартинес-Дуарт Д. М., Мартин-Палма Р. Д., Агулло-Руеда Ф., 2009
7. Точечные дефекты в полупроводниках. Теория, Ланно М., Бургуэн Ж., 1984
8. Квантовые процессы в полупроводниках, Ридли Б., 1986
9. Квантовая теория явлений электронного переноса в кристаллических полупроводниках, Зырянов П. С., Клингер М. И., 1976
10. Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987