t.me/OB4UHHUKOB Отправить другу/подруге по почте ссылку на эту страницуВариант этой страницы для печатиНапишите нам!Карта сайта!Помощь. Как совершить покупку…
московское время25.11.20 05:02:20
На обложку
Схемотехническое проектирование и моделирование радиоэлектронных…авторы — Антипенский Р. В., Фадин А. Г.
Сборник задач по теории горения: Учебное пособие для вузовавторы — Померанцев В. В., Арефьев К. М., Ахмедов Д. Б., Конович М. Н., Рундыгин Ю. А., Шестаков С. М.
Научные и технические основы ядерной энергетики. тт. I,…авторы — Гудмен К., ред.
б у к и н и с т и ч е с к и й   с а й т
Новинки«Лучшие»Доставка и ОплатаМой КнигоПроводО сайте
Книжная Труба   поиск по словам из названия
Авторский каталог
Каталог издательств
Каталог серий
Моя Корзина
Только цены
Рыбалка
Наука и Техника
Математика
Физика
Радиоэлектроника. Электротехника
Инженерное дело
Химия
Геология
Экология
Биология
Зоология
Ботаника
Медицина
Промышленность
Металлургия
Горное дело
Сельское хозяйство
Транспорт
Архитектура. Строительство
Военная мысль
История
Персоны
Археология
Археография
Восток
Политика
Геополитика
Экономика
Реклама. Маркетинг
Философия
Религия
Социология
Психология. Педагогика
Законодательство. Право
Филология. Словари
Этнология
ИТ-книги
O'REILLY
Дизайнеру
Дом, семья, быт
Детям!
Здоровье
Искусство. Культурология
Синематограф
Альбомы
Литературоведение
Театр
Музыка
КнигоВедение
Литературные памятники
Современные тексты
Худ. литература
NoN Fiction
Природа
Путешествия
Эзотерика
Пурга
Спорт

/Наука и Техника/Физика

Механизмы вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела — Новиков Ю. А., ред.
Механизмы вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела
Труды ИОФАН; Т.55
Новиков Ю. А., ред.
год издания — 1998, кол-во страниц — 128, ISBN — 5-02-015085-1, тираж — 200, язык — русский, тип обложки — мягк., масса книги — 200 гр., издательство — Наука
серия — Труды ИОФАН
цена: 299.00 рубПоложить эту книгу в корзину
Р е ц е н з е н т ы:
д-р ф.-м. наук, проф. В. П. Шантарович
д-р ф.-м. наук В. М. Марченко

Утверждено к печати Институтом общей физики РАН

Формат 70x100 1/16. Бумага офсетная №1. Печать офсетная
ключевые слова — поверхност, электронн, микроскоп, рассеянн, микроструктур, растров, backscatter, рэм-изображен, рельеф, метролог, микрон, нанотех

В сборнике описаны методы исследования вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела в растровом электронном микроскопе, работающем в режимах сбора вторичных медленных и обратно рассеянных электронов. Рассмотрены результаты таких исследований. Обнаружен новый механизм генерации вторичных электронов — эффект эмиссии электронов из поверхностных состояний под действием налетающего первичного электрона. Приведены примеры применения этого эффекта для измерения линейных размеров микроструктур в растровом электронном микроскопе.

Сборник предназначен для научных работников, технологов, аспирантов и студентов, специализирующихся в областях исследования поверхности твёрдого тела, вторичной электронной эмиссии и растровой электронной микроскопии.


The book outlines the methods for researching the secondary electron emission from a relief surface of solids with the use of scanning electron microscope. The electron microscope operates in the collection modes of the secondary slow and backscattered electrons. New mechanism of the secondary electron generation — the effect of electron emission from surface states under the action of flying primary electron — is found out. The application of this effect for measurement of microstructure linear sizes is shown.

The proceeding is intended for scientists, technologists, and postgraduate students specializing in the fields of investigation of the solid surface, secondary electron emission, and scanning electron microscopy.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Новиков Ю. А., Раков А. В.
Вторичная электронная эмиссия рельефной поверхности твёрдого тела3
 
Новиков Ю. А., Раков А. В., Филиппов М. Н.
Особенности РЭМ-изображения субмикронных элементов рельефа
в обратно рассеянных электронах
100
 
Новиков Ю. А., Раков А. В., Стеколин И. Ю.
РЭМ-метрология линейных размеров в субмикронной области109

Книги на ту же тему

  1. Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
  2. Химическая физика поверхности твёрдого тела, Моррисон С., 1980
  3. Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
  4. Плазменные источники электронов, Крейндель Ю. Е., 1977
  5. Электронные умножители, Чечик И. О., Файнштейн С. М., Лифшиц Т. М., 1954
  6. Электровакуумные приборы, Тягунов Г. А., 1949

Напишите нам!© 1913—2013
КнигоПровод.Ru
Рейтинг@Mail.ru btd.kinetix.ru работаем на движке KINETIX :)
elapsed time 0.035 secработаем на движке KINETIX :)