t.me/OB4UHHUKOB Отправить другу/подруге по почте ссылку на эту страницуВариант этой страницы для печатиНапишите нам!Карта сайта!Помощь. Как совершить покупку…
московское время21.04.21 04:38:56
На обложку
Система экваториальных противотечений в океанеавторы — Ханайченко Н. К.
Теплообмен в топках паровых котловавторы — Блох А. Г.
Теория ангармонических эффектов в кристаллахавторы — Лейбфрид Г., Людвиг В.
б у к и н и с т и ч е с к и й   с а й т
Новинки«Лучшие»Доставка и ОплатаМой КнигоПроводО сайте
Книжная Труба   поиск по словам из названия
Авторский каталог
Каталог издательств
Каталог серий
Моя Корзина
Только цены
Рыбалка
Наука и Техника
Математика
Физика
Радиоэлектроника. Электротехника
Инженерное дело
Химия
Геология
Экология
Биология
Зоология
Ботаника
Медицина
Промышленность
Металлургия
Горное дело
Сельское хозяйство
Транспорт
Архитектура. Строительство
Военная мысль
История
Персоны
Археология
Археография
Восток
Политика
Геополитика
Экономика
Реклама. Маркетинг
Философия
Религия
Социология
Психология. Педагогика
Законодательство. Право
Филология. Словари
Этнология
ИТ-книги
O'REILLY
Дизайнеру
Дом, семья, быт
Детям!
Здоровье
Искусство. Культурология
Синематограф
Альбомы
Литературоведение
Театр
Музыка
КнигоВедение
Литературные памятники
Современные тексты
Худ. литература
NoN Fiction
Природа
Путешествия
Эзотерика
Пурга
Спорт

/Наука и Техника/Физика

Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами — Гаврилин В. В.
Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами
Гаврилин В. В.
год издания — 1991, кол-во страниц — 206, ISBN — 5-7966-0433-3, тираж — 1000, язык — русский, тип обложки — твёрд. 7БЦ матов., масса книги — 310 гр., издательство — Зинатне. Рига
КНИГА СНЯТА С ПРОДАЖИ
Сохранность книги — очень хорошая

Р е ц е н з е н т ы:
проф., д-р т.н. И. Г. Матис
к-т т.н. В. С. Фастрицкий

Формат 60x90 1/16. Бумага типографская №1. Печать высокая
ключевые слова — неразрушающ, тонкоплён, ик-диапаз, вч-диапаз, микроструктур, импеданс, радиоволнов, вихретоков, электрофиз, соленоид, резонатор, ёмкостн, резистивн, волновод, вимп, ситалл, высокоомн

Монография посвящена проблеме комплексного развития теории электромагнитных методов неразрушающего контроля тонкоплёночных проводящих структур на основе обобщения их свойств в электромагнитных полях от ИК- до ВЧ-диапазонов и с учётом их микроструктурных особенностей. Неоднородные плёнки структуры представляются в виде импедансных поверхностей (модель импедансной поверхности), что позволяет упростить граничные условия при решении задач электродинамики, избавиться от необходимости расчёта полей внутри плёнок и получить простые аналитические выражения для вносимых параметров радиоволновых и вихретоковых измерительных преобразователей через параметры плёнок, на основе использования которых разрабатываются методы неразрушающего контроля тонкоплёночных структур с отстройкой от мешающих факторов.

Приводятся результаты опробования разработанных методов контроля. Описываются принципы работы и блок-схемы созданных на их основе измерительных и контрольных приборов. Рассматриваются проблемы их выпуска, внедрения и аттестации.

Монография предназначена для специалистов, работающих в области неразрушающих электромагнитных методов контроля, и для инженерно-технического персонала, связанного с производством тонкоплёночных структур.

Табл. 13, ил. 105, библиогр. 264 назв.

ОГЛАВЛЕНИЕ

ПРЕДИСЛОВИЕ5
 
1. ОСОБЕННОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЁНОК.
ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ НЕРАЗРУШАЮЩИХ МЕТОДОВ ИХ КОНТРОЛЯ
11
 
1.1. Электрическая проводимость тонких плёнок12
1.2. Исследование электрофизических параметров плёнок контактными
методами
16
1.3. Электрическая проводимость плёнок на высокой частоте23
1.4. Пути развития неразрушающих электромагнитных методов контроля
параметров тонких плёнок
26
 
2. ТЕОРИЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО КОНТРОЛЯ
ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ СТРУКТУР
28
 
2.1. Особенности взаимодействия электромагнитных полей с тонкими
проводящими плёнками
29
2.1.1. Импеданс квадрата поверхности как обобщающая
характеристика проводящей плёнки в электромагнитном поле29
2.1.2. Зависимость импеданса квадрата поверхности островковых
плёнок от частоты поля и их микроструктуры31
2.1.3. Граничные условия для модели импедансной поверхности34
2.2. Расчёт взаимодействия однородных электромагнитных полей с
тонкоплёночными проводящими структурами
35
2.2.1. Поле бесконечного соленоида36
2.2.2. Плоская волна41
2.2.3. Поле открытого резонатора44
2.3. Расчёт параметров вихретоковых преобразователей при взаимодействии
их полей с тонкими проводящими покрытиями и плёнками
48
2.3.1. Приближение плоской волны49
2.3 2. Проходной преобразователь54
2.3.3. Накладной преобразователь58
 
3. ВИХРЕТОКОВЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР63
 
3.1. Параметрические накладные преобразователи65
3.1.1. Отстройка от влияния зазора на основе использования двух
параметрических преобразователей различного диаметра65
3.1.2. Контроль параметров структур по входному импедансу с
отстройкой от влияния зазора71
3.2. Дифференциальные накладные преобразователи80
3.2.1. Расчёт параметров дифференциального накладного
преобразователя81
3.2.2. Отстройка от влияния зазора88
3.3. Контроль тонкоплёночных проводящих дисков параметрическим
преобразователем
95
 
4. ИК-, РАДИОВОЛНОВЫЕ И ЁМКОСТНЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ РЕЗИСТИВНЫХ
ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР
105
 
4.1. Контроль плёнок в ИК-диапазоне106
4.2. Волноводные и рупорные методы контроля109
4.3. Контроль на основе использования СВЧ-открытого резонаторного
преобразователя
115
4.4. Ёмкостные ВЧ-методы измерения параметров плёнок120
 
5. ПРИБОРЫ ВИХРЕТОКОВОГО НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ТОНКИХ
ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ И ПЛЁНОК
127
 
5.1. Использование импедансной методики контроля при разработке
приборов серии ВИМП
127
5.2. Приборы ВИМП-1 и ВИМП-4 с параметрическими накладными
преобразователями
133
5.3. Приборы ВИМП-2 и ВИМП-3 для контроля металлизации
стальных лент и полупроводниковых дисков
137
5.4. Приборы ВИМП-5, ВИМП-11, ВИМП-12, ВИМП-13 и ВИМП-13М
для отработки технологии нанесения тонких проводящих покрытий
141
5.5. Приборы ВИМП-31 и ВИМП-31М для измерения толщины
контактных покрытий на кремниевых дисках
146
5.6. Цифровые приборы ВИМП-51, ВИМП-51М, ВИМП-52 и ВИМП-53
для измерения эквивалентной толщины и проводимости квадрата
поверхности тонких металлических плёнок
148
 
6. РАДИОВОЛНОВЫЕ И ЁМКОСТНЫЕ СРЕДСТВА КОНТРОЛЯ
ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР
155
 
6.1. Прибор СИМП-1 для контроля сопротивления квадрата
поверхности резистивных плёнок на ситалловых подложках
156
6.2. Ёмкостное автоматизированное устройство для контроля
параметров тонких резистивных плёнок
159
6.3. Прибор СИМП-2 с рупорным проходным преобразователем
для контроля параметров тонкоплёночных структур в процессе производства
162
6.4. Прибор СИМП-3 с резонаторными преобразователями для
непрерывного контроля высокоомных проводящих и диэлектрических плёнок
166
 
7. ПРОБЛЕМЫ ВЫПУСКА, ВНЕДРЕНИЯ И МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ АТТЕСТАЦИИ
ПРИБОРОВ
172
 
7.1.1. Приборы серии СИМП173
7.1. Структурные схемы разработки, освоения выпуска и внедрения
приборов
173
7.1.2. Приборы серии ВИМП176
7.2. Автоматизация измерений приборами серии ВИМП181
7.2.1. Автонастройка на оптимальный режим в процессе измерений181
7.2.2. Автоподстройка нуля в промежутках между измерениями185
7.3. Основы метрологической аттестации приборов187
Список литературы191

Книги на ту же тему

  1. Магнитоэлектроника СВЧ-, КВЧ-диапазонов в плёнках ферритов, Игнатьев А. А., Ляшенко А. В., 2005
  2. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоёв, Афанасьев А. М., Александров П. А., Имамов Р. М., 1989
  3. Физические методы неразрушающего контроля сварных соединений: учебное пособие, Алешин Н. П., 2006
  4. Виброакустика в приложениях к реакторной установке ВВЭР-1200, Аркадов Г. В., Павелко В. И., Слепов М. Т., 2018
  5. Акустический контроль оборудования при изготовлении и эксплуатации, Углов А. Л., Ерофеев В. И., Смирнов А. Н., 2009
  6. Экспериментальная механика: В 2-х книгах (комплект из 2 книг), Кобаяси А., ред., 1990
  7. Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
  8. Физико-химические основы производства полимерных плёнок: Учебное пособие для вузов, Гуль В. Е., Дьяконова В. П., 1978
  9. Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987

Напишите нам!© 1913—2013
КнигоПровод.Ru
Рейтинг@Mail.ru btd.kinetix.ru работаем на движке KINETIX :)
elapsed time 0.027 secработаем на движке KINETIX :)