t.me/OB4UHHUKOB Отправить другу/подруге по почте ссылку на эту страницуВариант этой страницы для печатиНапишите нам!Карта сайта!Помощь. Как совершить покупку…
московское время24.11.20 12:48:55
На обложку
Прямой метод Ляпунова в теории устойчивостиавторы — Руш Н., Абетс П., Лалуа М.
Русский сборник: Исследования по истории России. Том IIIавторы — Колеров М. А., Айрапетов О. Р., Чейсти П., Йованович М., Меннинг Б., ред.
Теория и расчёт оптико-электронных приборов: Учебник для…авторы — Якушенков Ю. Г.
б у к и н и с т и ч е с к и й   с а й т
Новинки«Лучшие»Доставка и ОплатаМой КнигоПроводО сайте
Книжная Труба   поиск по словам из названия
Авторский каталог
Каталог издательств
Каталог серий
Моя Корзина
Только цены
Рыбалка
Наука и Техника
Математика
Физика
Радиоэлектроника. Электротехника
Инженерное дело
Химия
Геология
Экология
Биология
Зоология
Ботаника
Медицина
Промышленность
Металлургия
Горное дело
Сельское хозяйство
Транспорт
Архитектура. Строительство
Военная мысль
История
Персоны
Археология
Археография
Восток
Политика
Геополитика
Экономика
Реклама. Маркетинг
Философия
Религия
Социология
Психология. Педагогика
Законодательство. Право
Филология. Словари
Этнология
ИТ-книги
O'REILLY
Дизайнеру
Дом, семья, быт
Детям!
Здоровье
Искусство. Культурология
Синематограф
Альбомы
Литературоведение
Театр
Музыка
КнигоВедение
Литературные памятники
Современные тексты
Худ. литература
NoN Fiction
Природа
Путешествия
Эзотерика
Пурга
Спорт

/Наука и Техника/Физика

Нанотехнологии в микроэлектронике — Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред.
Нанотехнологии в микроэлектронике
Научное издание
Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред.
год издания — 2019, кол-во страниц — 511, ISBN — 978-5-02-040201-0, язык — русский, тип обложки — твёрд. 7Б, масса книги — 1000 гр., издательство — Наука
цена: 1500.00 рубПоложить эту книгу в корзину
Формат 70x90 1/16. Печать офсетная
ключевые слова — нанотех, микроэлектр, наноматер, сбис, убис, микромех, нанопьезотр, эпитакс, нанолитогр, нанотруб, подложк, нанодиагн, наноэлектр, мемристор, нанокрист, поверхност, наноразмер, наносистем, наноструктур, нанокомпозит, графен, фотоприём, наномехан

В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.

Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие редакторов5
 
Глава 1
Получение вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы9
 
Введение9
1.1. Термодинамический анализ процессов в структуре
катализатор/подслой/подложка при выращивании углеродных
нанотрубок методом осаждения из газовой фазы10
1.2. Теоретические основы формирования каталитических центров
при термообработке металлических плёнок16
1.3. Исследование технологических режимов формирования каталитических
центров и роста углеродных нанотрубок методом плазмохимического
осаждения из газовой фазы25
Заключение.45
Литература47
 
Глава 2
Методики нанодиагностики параметров вертикально ориентированных
углеродных нанотрубок на основе методов сканирующей зондовой
микроскопии51
 
Введение51
2.1. Экспериментальные образцы и оборудование52
2.2. Методика определения высоты массива вертикально ориентированных
углеродных нанотрубок53
2.3. Методика определения модуля Юнга и жёсткости на изгиб углеродных
нанотрубок56
2.4. Методика определения удельного сопротивления углеродных
нанотрубок62
2.5. Методика определения адгезии углеродных нанотрубок к подложке69
Заключение74
Литература74
 
Глава 3
Ориентированные углеродные нанотрубки как перспективный материал
нанопьезотроники и наноэлектроники78
 
Введение78
3.1. Теоретические основы создания приборов и устройств
нанопьезотроники на основе ориентированных углеродных нанотрубок79
3.1.1. Деформация УНТ под действием локального внешнего
    электрического поля80
3.1.2. Поляризация и накопление пьезоэлектрического заряда в УНТ88
3.1.3. Модель мемристорного эффекта в неравномерно
    деформированной УНТ93
3.2. Исследование мемристорного эффекта в ориентированных УНТ
и структурах на их основе98
Заключение110
Литература112
 
Глава 4
Формирование самоорганизующихся наноструктур AЗB5 методом
молекулярно-лучевой эпитаксии115
 
Введение115
4.1. Формирование наноструктур в системе GaAs-оксид116
4.2. Исследование процессов эпитаксиального роста GaAs
на поверхностях с различной кристаллографической ориентацией128
4.3. Исследование процессов капельной эпитаксии в системе
In/GaAs(001)139
Литература149
 
Глава 5
Импульсное лазерное осаждение нанокристаллических пленок ZnO154
 
Введение154
5.1. Исследование равномерности осаждения плёнок методом импульсного
лазерного осаждения156
5.2. Исследования режимов формирования нанокристаллических плёнок
ZnO методом импульсного лазерного осаждения165
5.3. Исследование стабильности зависимости удельного сопротивления
при термоциклировании нанокристаллических плёнок ZnO178
5.4. Применение нанокристаллических плёнок ZnO в наноэлектронике186
Заключение192
Литература193
 
Глава 6
Профилирование поверхности подложек методом фокусированных
ионных пучков197
 
6.1. Основы метода фокусированных ионных пучков197
6.2. Моделирование процессов наноразмерного профилирования
поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков199
6.3. Исследование режимов наноразмерного профилирования поверхности
подложек методом фокусированных ионных пучков212
6.4. Применение фокусированных ионных пучков при создании элементов
наноэлектроники и наносистемной техники229
Заключение236
Литература237
 
Глава 7
Исследование мемристорного эффекта в оксидных наноразмерных
структурах титана240
 
Введение240
7.1. Моделирование физико-химических процессов формирования оксидных
наноразмерных структур титана методом локального анодного
окисления241
7.1.1. Анализ процессов при локальном анодном окислении титана242
7.1.2. Моделирование процесса локального анодного окисления
    титана253
7.2. Исследование закономерностей формирования оксидных
наноразмерных структур титана методом локального анодного
окисления263
7.3. Исследование фазового состава оксидных наноразмерных структур
титана, полученных методом локального анодного окисления274
7.4. Исследование мемристорного эффекта оксидных наноразмерных
структур титана280
7.5. Макет элемента резистивной памяти на основе мемристорных
структур ОНС титана287
Заключение290
Литература291
 
Глава 8
Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических
подложек карбида кремния электронно-лучевой обработкой295
 
Введение295
8.1. Влияние поверхности подложек карбида кремния на формирование
микро- и наноструктур297
8.2. Технологическое оборудование электронно-лучевой обработки299
8.3. Физико-химические процессы формирования поверхности подложек
карбида кремния при электронно-лучевой обработке300
8.4. Исследование влияния электронно-лучевой обработки на параметры
поверхности подложек карбида кремния316
8.5. Разработка технологического процесса электронно-лучевого
формирования поверхности монокристаллических подложек карбида
кремния328
Заключение329
Литература330
 
Глава 9
Исследование электропроводности полимерных нанокомпозитов
с углеродными наноструктурами336
 
Введение336
9.1. Моделирование зависимости электропроводности полимерных
нанокомпозитов от концентрации углеродных наноструктур342
9.2. Моделирование зависимости электропроводности полимерных
нанокомпозитов с графеном от температуры357
Литература373
 
Глава 10
Автоэмиссионные наноструктуры на основе плёнок графена на карбиде
кремния 377
 
Введение377
10.1. Моделирование автоэмиссионных наноструктур с катодами в форме
острия378
10.2. Исследование плёнок графена на карбиде кремния387
10.3. Исследование автоэмиссионных катодов на основе плёнок графена
на карбиде кремния393
Заключение403
Литература404
 
Глава 11
Сверхбыстродействующие интегральные элементы с управляемой
пространственной передислокацией максимума плотности носителей
заряда в связанных квантовых областях411
 
Введение411
11.1. Интегральные логические элементы на основе туннельно-связанных
квантовых областей412
11.2. Интегральные коммутаторы с управляемой пространственной
передислокацией максимума плотности носителей заряда в квантовых
областях426
11.3. Сверхбыстродействующие инжекционные лазеры с управляемой
пространственной передислокацией максимумов плотности носителей
заряда в квантовых ямах436
11.4. Быстродействующие фотоприёмники интегральных систем оптической
коммутации454
Заключение458
Литература459
 
Глава 12
Микро- и наномеханические гироскопы и акселерометры: принципы
построения и технологии изготовления462
 
12.1. Разработка и исследование микромеханических
функционально-интегрированных микро- и наномеханических
гироскопов-акселерометров с несколькими осями чувствительности462
12.2. Технология изготовления экспериментальных образцов микро-
и наномеханических гироскопов и акселерометров479
12.2.1. Унифицированный технологический маршрут изготовления
    инерциальных датчиков479
12.2.2. Формирование туннельно-эмиссионной структуры
    наномеханического акселерометра методом фокусированных
    ионных пучков482
12.2.3. Экспериментальные образцы микро- и наномеханических
    гироскопов и акселерометров485
12.3. Устройства обработки сигналов ёмкостных преобразователей
микро- и наносистем488
Заключение496
Литература497
 
Сведения об авторах501

Книги на ту же тему

  1. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. — 2-е изд., доп., Мартинес-Дуарт Д. М., Мартин-Палма Р. Д., Агулло-Руеда Ф., 2009
  2. Фуллерены: Учебное пособие, Сидоров Л. Н., Юровская М. А., Борщевский А. Я., Трушков И. В., Иоффе И. Н., 2005
  3. Новые углеродные наноматериалы: получение, исследование, перспективы применения, Сладкова Т. А., сост., 2013
  4. Исследование углерода — успехи и проблемы, 2007
  5. Углеродная фотоника, Конов В. И., ред., 2017
  6. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование, 2005
  7. Полимерные нанокомпозиты: многообразие структурных форм и приложений, Микитаев А. К., Козлов Г. В., Заиков Г. Е., 2009
  8. Электрохимия нанокомпозитов металл-ионообменник, Кравченко Т. А., Золотухина Е. В., Чайка М. Ю., Ярославцев А. Б., 2013
  9. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р. К., 2009
  10. Основы технологий и применение наноматериалов, Колмаков А. Г., Баринов С. М., Алымов М. И., 2012
  11. Нанотехнологии. — 2-е изд., доп., Пул Ч., Оуэнс Ф., 2005
  12. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований, 2002
  13. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии, 2006
  14. Химическая физика поверхности твёрдого тела, Моррисон С., 1980
  15. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твёрдого тела, Экштайн В., 1995
  16. Введение в физику поверхности, Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А., Зотов А. В., Катаяма М., 2006
  17. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах, Морган Д., 1990
  18. Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987
  19. Твердотельная фотоэлектроника. Фоторезисторы и фотоприёмные устройства, Филачёв А. М., Таубкин И. И., Тришенков М. А., 2012
  20. Техника оптической связи: Фотоприёмники, Тсанг У., ред., 1988

Напишите нам!© 1913—2013
КнигоПровод.Ru
Рейтинг@Mail.ru btd.kinetix.ru работаем на движке KINETIX :)
elapsed time 0.036 secработаем на движке KINETIX :)