Сохранность книги — хорошая. Несвежая обложка
SOME INVESTIGATIONS
ON GERMANIUM AND SILICON SURFACES
by A. H. BOONSTRA
PHILIPS RESEARCH REPORTS, SUPPL.,
No. 3, 1968, p. 1—106
пер. с англ. Г. В. Степанова

Формат 60x90 1/16. Бум. тип. № 2

Предлагаемая читателю книга А. Боонстры является детальным отчётом о шестилетней экспериментальной работе, посвящённой изучению физико-химических свойств поверхности Ge и Si. Исследования, проведённые в лабораториях всемирно известной голландской фирмы «Филипс», были выполнены на очень высоком методическом уровне и состояли в установлении количественных закономерностей изменения электрофизических свойств Ge и Si при адсорбции газов различной природы.

В данную книгу включены в качестве дополнения две статьи, в которых более подробно рассмотрены методики, использованные в работе Боонстры, — определение площади поверхности методом Брунауера, Эмметта и Теллера и метод ионной очистки поверхности.

Детально описанные Боонстрой методические приёмы, конструкции аппаратуры и результаты работы представляют непосредственный интерес для многочисленной армии специалистов, занимающихся как принципиальными вопросами свойств поверхности полупроводников, так и приложениями, связанными с защитой полупроводниковых приборов.

Предисловие редактора перевода	6

Глава 1. Основные теоретические сведения	11
§1. Введение	11
§2. Поверхностные состояния	14
1. Уровни Тамма	14
2. Уровни Шокли	18
§3. Область объёмного заряда	20
1. Определения	21
2. Уравнение Пуассона	22
3. Поверхностная проводимость	26
4. Поверхностная подвижность носителей заряда	29
5. Статистика заполнения поверхностных состояний	31
6. Влияние внешнего поля на потенциал поверхности	35
7. Поверхностная ёмкость	39
8. Примесные полупроводники	40
9. Концентрация избыточных носителей заряда	44

Глава 2. Экспериментальные методы	47
§1. Определение площади поверхности	47
1. Теория	47
2. Экспериментальные результаты	50
§2. Приготовление чистых поверхностей	53
1. Скол	54
2. Дробление	54
3. Термическая очистка	55
4. Метод быстрого нагрева	56
5. Восстановление в водороде	56
6. Ионная очистка	56
7. Техника напыленных плёнок	57
8. Разложение GeH₄ и SiH₄	57

Глава 3. Экспериментальные исследования свойств поверхности германия	59
§1. Поверхностная проводимость монокристаллов германия	59
1. Метод исследования	59
2. Результаты экспериментальных исследований	61
3. Определение изгиба зон	65
4. Обсуждение экспериментальных результатов	67
§2. Адсорбция на поверхности германия	68
1. Введение	68
2. Техника эксперимента	70
3. Приготовление чистой поверхности германия	71
4. Результаты экспериментальных исследований	72
5. Обсуждение результатов измерения адсорбции	84
§3. Измерение зависимости проводимости от заполнения поверхности	87
1. Измерение давления кислорода	87
2. Одновременные измерения адсорбции и проводимости	89
3. Измерение проводимости порошков	91
§4. Исследования с помощью эффекта поля	94
1. Введение	94
2. Техника эксперимента	95
3. Результаты экспериментальных исследований	97
4. Обсуждение экспериментальных результатов	102

Глава 4. Свойства поверхности кремния	106
§1. Адсорбция газов на чистой поверхности кремния	106
1. Введение	106
2. Техника эксперимента и экспериментальные результаты	107
§2. Исследование проводимости на монокристаллах кремния	119
1. Введение	119
2. Техника эксперимента	120
3. Экспериментальные результаты	121
§3. Приготовление слоя нитрида кремния	123
1. Введение	123
2. Техника эксперимента и экспериментальные результаты	125

Глава 5. Заключение	130

Литература	134

Дополнение

Д. Кантро, С. Брунауер, Л. Коплэнд. Применение теории БЭТ к определению площади поверхности. (Методы и интерпретация результатов)	138
§1. Введение	138
§2. Область применимости теории БЭТ	139
§3. «Посадочные» площадки молекул	142
§4. Методы измерения	143
§5. Волюметрические методы	143
§6. Гравиметрические методы	149
§7. Методы, основанные на применении теплопроводности	152
§8. Методы определения площади поверхности по измерению адсорбции при одном значении давления	153
Литература	155

X. Е. Фарнсворс. Приготовление атомно чистых поверхностей твёрдых тел и методы оценки их качества	157
§1. Введение	157
§2. Методы приготовления чистой поверхности	159
1. Продолжительный прогрев в сверхвысоком вакууме	159
2. Обработка загрязнённой поверхности в подходящей газовой
атмосфере и в соответствующем интервале температур для
промотирования химических реакций, продукты которых
можно удалить прогревом	161
3. Удаление загрязнений бомбардировкой ионами инертных
газов с последующим отжигом	161
4. Создание чистой поверхности сколом монокристалла в
сверхвысоком вакууме	165
§3. Методы оценки качества поверхности	165
1. Метод дифракции медленных электронов (ДМЭ)	166
2. Фотоэлектрическая работа выхода и контактная разность
потенциалов	171
3. Коэффициент отражения электронов	173
Литература	173

Книги на ту же тему

Физико-химия поверхности полупроводников, Волькенштейн Ф. Ф., 1973
Неравновесные приповерхностные процессы в полупроводниках и полупроводниковых приборах, Зуев В. А., Саченко А. В., Толпыго К. Б., 1977
Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
Химическая физика поверхности твёрдого тела, Моррисон С., 1980
Электронные свойства двумерных систем, Андо Т., Фаулер А., Стерн Ф., 1985
Электронные процессы в некристаллических веществах, Мотт Н., Дэвис Э., 1974
Электронные явления в гетерогенном катализе, Рогинский С. 3., 1975
Физика фононов больших энергий, 1976
Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987
Арсенид галлия. Получение, свойства и применение, Кесаманлы Ф. П., Наследов Д. Н., ред., 1973
Плазма и токовые неустойчивости в полупроводниках, Пожела Ю. К., 1977
Излучательная рекомбинация в полупроводниках: Сборник статей, Покровский Я. Е., ред., 1972
Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963

elapsed time 0.018 sec

/Наука и Техника/Физика

ОГЛАВЛЕНИЕ

Книги на ту же тему