Рассмотрены физические свойства тонких плёнок и особенности их строения. Подробно изложены вопросы измерения тонких плёнок. Книга рассчитана на работников научно-исследовательских институтов, ОКБ, а также преподавателей и студентов специальных вузов.

В настоящее время тонкие плёнки находят всё большее применение в различных областях техники: в электронике, технике СВЧ, полупроводниковой технике и т. д. За последние годы значительное развитие получила оптика тонких покрытий, позволившая создать новые интерферометрические методы и устройства, а также существенно расширить возможности методов, существовавших ранее. Тонкие плёнки применяются для просветления оптики, изготовления селективных зеркал, поляризаторов, интерференционных светофильтров, а также используются в интерференционной микроскопии. Особенно важное значение имеет применение тонких плёнок в области микроминиатюризации, которой принадлежит большое будущее и в которой на основе тонких плёнок создаются как пассивные, так и активные элементы схем.

Столь широкие возможности, заложенные в тонких плёнках, объясняют особый интерес инженерно-технических работников к физическим свойствам, технологии изготовления, измерениям параметров и применениям их.

Несмотря на обширную журнальную литературу по тонким плёнкам, существует очень мало книг, систематизирующих результаты исследований в этой области. Учитывая это, Издательство решило издать перевод книги Метфесселя, сделав некоторые сокращения в тех разделах, которые наиболее известны нашим читателям или уже устарели.

Монография Метфесселя содержит шесть основных разделов. В первом излагаются методы изготовления тонких плёнок. Во втором рассматриваются свойства тонких металлических плёнок и отклонения этих свойств от свойств массивных металлов. Третий, четвёртый, пятый и шестой разделы посвящены различным методам измерения толщин тонких плёнок.

Следует отметить, что вопросы технологии изготовления и свойств тонких плёнок излагаются в книге в сравнительно очень малом объёме и наибольший интерес в монографии представляет систематизированное изложение вопросов измерения толщин плёнок. Измерение толщин имеет большое значение при исследовании свойств тонких плёнок, так же как и при их использовании. Эти измерения представляют, однако, серьёзные трудности вследствие неопределённости структуры, зависящей от условий нанесения и отличия параметров тонких плёнок от параметров соответствующих массивных металлов.

В книге Метфесселя рассмотрены различные методы определения толщин тонких плёнок и указаны границы применения этих методов. Описаны методы химические, электрические (измерение электрического сопротивления или ёмкости), методы измерения путём взвешивания, а также разные оптические методы (по измерениям интенсивности света, его поляризации, интерференционные методы и др.). В этих разделах материал книги интересен и в настоящее время для большого числа инженеров и научных работников различных областей науки и техники.

ПРЕДИСЛОВИЕ К РУССКОМУ ИЗДАНИЮ

Книги на ту же тему

1. Стохастическая магнитная структура плёнок с микропоровой системой, Юдин В. В., 1987
2. Массоперенос в тонких плёнках, Колешко В. М., Белицкий В. Ф., 1980
3. Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
4. Эффект Джозефсона в сверхпроводящих туннельных структурах, Кулик И. О., Янсон И. К., 1970
5. Введение в физику поверхности, Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А., Зотов А. В., Катаяма М., 2006
6. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции, Волькенштейн Ф. Ф., 1987
7. Физико-химические основы производства полимерных плёнок: Учебное пособие для вузов, Гуль В. Е., Дьяконова В. П., 1978
8. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твёрдого тела, Экштайн В., 1995
9. Плазменная технология в производстве СБИС, Айнспрук Н., Браун Д., ред., 1987
10. Электроны и фононы в ограниченных полупроводниках, Басс Ф. Г., Бочков В. С, Гуревич Ю. Г., 1984
11. Поверхностные свойства германия и кремния, Боонстра А., 1970
12. Химическое состояние и атомная структура поверхности г.ц.к. металлов в реакции взаимодействия с галогенами, Конов В. И., Ельцов К. Н., ред., 2003
13. Механизмы вторичной электронной эмиссии рельефной поверхности твёрдого тела, Новиков Ю. А., ред., 1998
14. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике, Бериш Р., Виттмак К., Легрейд Н., Мак-Кланахан Э., Сандквист Б., Хауффе В., Хофер В., Ю М., 1998
15. Системы-на-кристалле. Проектирование и развитие, Немудров В., Мартин Г., 2004
16. Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами, Гаврилин В. В., 1991
17. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии, 2006
18. Интерферометр с дифракционной решёткой, Васильев Л. А., Ершов И. В., 1976
19. Прикладная оптика и оптические измерения (учебник для техникумов), Гвоздева Н. П., Коркина К. И., 1976
20. Интерференция и дифракция света. Основы теории и применения, Нагибина И. М., 1974
21. Оптические интерферометры, Скоков И. В., 1979
22. Цветовые измерения, Кривошеев М. И., Кустарев А. К., 1990
23. Прикладная оптика и оптические измерения, Мальцев М. Д., Каракулина Г. А., 1968
24. Теория оптических систем и оптические измерения; Учебник для техникумов, Гвоздева Н. П., Коркина К. И., 1981
25. Интерферометры. Основы инженерной теории, применение, Коломийцов Ю. В., 1976